①温度:温度升高,加强了抛光液化学反应才能,抛光速率添加。但过高的温度会引起抛光液的挥发,以及加速化学反应,外表腐蚀严重,因而会产生不均匀的抛光作用,使抛光质量下降。
②pH值:抛光液的pH值越高,碱性越强,反应速率越快。但pH值对被抛外表刻蚀、磨料的分解与溶解度、抛光液的稳定性有很大的影响,从而影响资料的去除率和外表质量,因此应严格操控。
③压力:一般地,压力越大,抛光速率越快。可是压力足够大时,抛光速率会稍微下降,原因是压力大,抛光垫承载抛光液才能下降。另外,压力大易形成破片现象。
④转速:转速添加,会引起抛光速率添加。但转速过高又会使抛光液在抛光垫上散布不均匀,影响抛光质量。
⑤抛光液浓度:抛光液的浓度添加时,去除率也随之添加,但当磨粒浓度超过某一值时,材料去除率将停止添加,保持一个常数值,这种现象称为去除饱和。并且过高的浓度,有可能造成外表缺点(划痕)添加,影响外表质量。
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