①温度：温度升高，加强了抛光液化学反应才能，抛光速率添加。但过高的温度会引起抛光液的挥发，以及加速化学反应，外表腐蚀严重，因而会产生不均匀的抛光作用，使抛光质量下降。

　　②pH值：抛光液的pH值越高，碱性越强，反应速率越快。但pH值对被抛外表刻蚀、磨料的分解与溶解度、抛光液的稳定性有很大的影响，从而影响资料的去除率和外表质量，因此应严格操控。

　　③压力：一般地，压力越大，抛光速率越快。可是压力足够大时，抛光速率会稍微下降，原因是压力大，抛光垫承载抛光液才能下降。另外，压力大易形成破片现象。

　　④转速：转速添加，会引起抛光速率添加。但转速过高又会使抛光液在抛光垫上散布不均匀，影响抛光质量。

　　⑤抛光液浓度：抛光液的浓度添加时，去除率也随之添加，但当磨粒浓度超过某一值时，材料去除率将停止添加，保持一个常数值，这种现象称为去除饱和。并且过高的浓度，有可能造成外表缺点(划痕)添加，影响外表质量。